記者7月19日從濱化集團獲悉，通過工藝、工程、檢測、充裝四方面技術突破，其生產的半導體用高純氟化氫產品品質達到6N等級（99.9999%），處于國內領先、國際一流水平。這標志著我國在半導體關鍵材料領域打破國外長期壟斷，填補了國內高純氟化氫產能空白。

高純氟化氫氣體如同一把精密“刻刀”，是半導體晶圓制造中干法蝕刻、腔體清潔等關鍵工藝的核心電子特氣，其純度直接決定晶圓良率。6N級高純氟化氫是適配28納米及以下先進制程的必需品。此前，我國6N級高純氟化氫長期依賴進口，國外企業壟斷全球約80%的市場份額。

半導體級氟化氫要求純度達到99.999%（5N）以上。“從5N到6N，不僅僅是多提純一次，而是一整套全新純化體系的建立。”濱化集團特種化學品事業部總經理劉騰介紹，實現6N純度，關鍵是攻克氟化氫中痕量水、二氧化碳、含氧有機物等互溶雜質。在精餾段設計多重精餾耦合系統，通過優化塔內件和操作窗口，在特定壓力梯度下實現碳氧雜質深度脫除，從根本上控制碳氧等關鍵雜質。同時，企業自主開發密閉精準取樣系統和高靈敏分析方案，將取樣過程中的環境本底干擾降至最低，確保分析數據真實反映產品質量，保障了6N指標的穩定可靠。

目前，6N等級高純氟化氫市場價格在200萬元/噸以上。濱化集團已完成50噸/年高純氟化氫鋼瓶充裝線的建設與調試，并取得山東省特檢院頒發的氣瓶充裝許可證，已開始向國內外重點客戶進行產品推介。

由中國化工學會組織的“半導體先進制程用超高純電子級氫氟酸關鍵技術與應用”項目成果評價會也在濱化集團舉行。專家組一致認為，該項目關鍵技術及產品指標達到國際先進水平。

超高純電子級氫氟酸項目是山東省重點研發計劃（重大科技創新工程）項目，由濱化集團聯合天津大學共同完成。項目團隊成功攻克氫氟酸純化、高效吸附及清洗充裝關鍵裝備等技術瓶頸，實現連續化、規模化、穩定化生產。產品指標優于SEMI-G5級，已順利導入14納米先進制程半導體終端客戶，品質和穩定性獲得行業頭部企業認可。項目首創電子級氟化氫反應-精餾耦合提純新工藝，開發新型填料結構與電子化學品包裝桶全自動浸沒式旋轉氣泡清洗裝置，構建全過程質量閉環管控體系，形成具有自主知識產權的工業化生產工藝體系。

此次高純氟化氫氣體投產，進一步完善了我國半導體先進制程關鍵材料的自主供應能力；超高純電子級氫氟酸通過國際先進水平評價，為國產化規模推廣提供了工程化示范支撐，對保障我國集成電路產業鏈供應鏈安全穩定具有深遠的戰略意義。

（大眾新聞記者 王凱 通訊員 侯方輝）